回转清洗装置
授权
摘要
本实用新型提供了一种回转清洗装置，其包括两相对设置的圆盘及设于所述圆盘之间用于放置籽晶的收容部，所述圆盘的周向上设有驱动机构，所述驱动机构可带动所述收容部进行回转。本实用新型通过在收容部两端的圆盘上设置驱动机构，使得在清洗过程中，所述收容部可以在驱动机构的带动下回转或来回移动，籽晶与清洗液之间充分接触，加强了籽晶的清洗效果。
基本信息
专利标题 ：
回转清洗装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020386398.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-03-24
授权号 ：
CN211700208U
授权日 ：
2020-10-16
发明人 ：
任贵陈伟李林东唐珊珊周硕
申请人 ：
苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;包头阿特斯阳光能源科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市苏州高新区鹿山路199号
代理机构 ：
苏州携智汇佳专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
于欣
优先权 ：
CN202020386398.8
主分类号 ：
H01L21/67
IPC分类号 ：
H01L21/67 B08B3/10 B08B3/08 B08B13/00
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
法律状态
2020-10-16 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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