一种防止液位误报警的高温溶液槽装置，涉及半导体制造技术领域，包括溶液槽及与溶液槽连通的连通管路，在连通管路上连接一三通接头，三通接头的第一接口与连通管路连通，三通接头的第二接口连通高纯氮气管路，三通接头的第三接口连接一液位检测管路，液位检测管路同时与溶液槽和连通管路连通，且液位检测管路和连通管路的液位随溶液槽的液位变化而变化，液位检测管路上设有用于检测液位的光电传感器。本实用新型有益效果：解决了现有设备在片盒清洗过程中，液位检测管路容易凝结小水滴，造成设备误报警的问题。