一种硅片缺陷检测装置
授权
摘要
本实用新型涉及硅片生产领域的一种硅片缺陷检测装置，包括固定在地面上的底座，底座上配合设置有主框架，主框架的四周配合设置有挡板；主框架包括上层工作部和下层工作部，下层工作部密封设置；上层工作部分别配合设置有进口和出口，上层工作部的进口和出口处设置有输送装置；上层工作部的内部配合设置有检测机构，检测机构对应输送装置的中心位置设置；输送装置位于进口处配合设置有限位装置；输送装置的中心位置处还配合设置有定位装置；输送装置还配合设置有用于固定硅片的托盘组件；本实用新型结构简单，紧凑，在对硅片进行检测之前可以实现对硅片位置的固定及限位，提高标注化，对操作人员的要求较低同时还能够提高检测的准确性。
基本信息
专利标题 ：
一种硅片缺陷检测装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020412923.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-03-27
授权号 ：
CN211905293U
授权日 ：
2020-11-10
发明人 ：
徐爱阳
申请人 ：
扬州荣兴达光电科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省扬州市江都区郭村镇工业园区
代理机构 ：
南京德铭知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
奚鎏
优先权 ：
CN202020412923.9
主分类号 ：
G01N33/00
IPC分类号 ：
G01N33/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N33/00
利用不包括在G01N1/00至G01N31/00组中的特殊方法来研究或分析材料
法律状态
2020-11-10 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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