氮封系统
授权
摘要

本实用新型公开了一种氮封系统,包括:超纯水箱、超纯水进管和超纯水出管,所述超纯水进管的出水端和所述超纯水出管的进水端均与所述超纯水箱内部连通,所述超纯水箱的底部还设置有排超纯水管;供氮气管路,所述供氮气管路的出气端与所述超纯水箱内部连通,所述供氮气管路上设置有氮封阀;液封装置,所述液封装置与所述超纯水箱连接以使所述超纯水箱内气压能够稳定在预设承压范围内。通过氮封阀使得密封氮气量控制稳定,操作简单实用性强,液封加氮封双重密封保障了超纯水水质更加稳定。

基本信息
专利标题 :
氮封系统
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202020419770.0
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-03-27
授权号 :
CN211738121U
授权日 :
2020-10-23
发明人 :
郭娜
申请人 :
高频美特利环境科技(北京)有限公司
申请人地址 :
北京市密云区工业开发区康宝路
代理机构 :
北京集佳知识产权代理有限公司
代理人 :
赵焕
优先权 :
CN202020419770.0
主分类号 :
F16K13/10
IPC分类号 :
F16K13/10  F16K37/00  F17D3/01  
IPC结构图谱
F
F部——机械工程;照明;加热;武器;爆破
F16
工程元件或部件;为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施;一般绝热
F16K
阀;龙头;旋塞;致动浮子;通风或充气装置
F16K
阀;龙头;旋塞;致动浮子;通风或充气装置
F16K13/00
切断装置的其他结构形式
F16K13/08
用于切断的装置
F16K13/10
借助液体或粒状介质
法律状态
2020-10-23 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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