单晶炉增氧加热器

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摘要

一种单晶炉增氧加热器，涉及单晶炉部件技术领域，将石英坩埚中的氧溶解出来，形状为两端敞开的筒状，包括由上至下固定连接的标准段、增氧段，标准段和增氧段的内径相同，标准段的外径大于增氧段的外径，增氧段的外径相对于传统加热器的外径缩小，根据电阻=电阻率×长度/横截面积的公式，在增氧加热器的电阻率和长度不能改变的情况下，改变横截面积，增大电阻值，以增大增氧加热器的发热量，使得加热器的且温区增大，进而使得石英坩埚底部受加热器辐射的热量多，氧的溶解反应加快，增加晶棒尾部的氧含量，相比于传统加热器，在固定时间内增加了氧的溶解量。

基本信息

专利标题：

单晶炉增氧加热器

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202020424415.2

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-03-27

授权号：

CN212077196U

授权日：

2020-12-04

发明人：

闫龙魏兴彤王忠宝

申请人：

宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司

申请人地址：

宁夏回族自治区银川市西夏区光明西路28号

代理机构：

宁夏合天律师事务所

代理人：

孙彦虎

优先权：

CN202020424415.2

主分类号：

C30B15/14

IPC分类号：

C30B15/14 C30B29/02 C30B29/06