本实用新型涉及纳米工艺领域，具体涉及一种提高基片烘干效率且结构简单、使用方便的多层隧道式红外感温干燥机。壳体的左顶部设置有基片进料斗，右下部设置有基片出料口并配合相应的基片收集斗；在壳体内从上到下设置有多组依次传递基片的烘干机构；上部第一个烘干机构的位置与基片进料斗位置对应，下部最后一个烘干机构的位置与基片出料口的位置对应；还包括有红外感温控制器，每个烘干机构均通过红外传感器与该红外感温控制器连接。本实用新型的多层隧道式红外感温干燥机，烘干机构依次传递基片的时候能够起到翻转作用，提高基片的烘干效率，此外红外线传感器能够时刻传递烘干温度，能够通过红外感温控制器控制烘干机构保持恒温烘干，避免损伤。