本实用新型公开了用于臭氧烟气脱硝后的残余臭氧浓度分析系统，包括脱硝烟筒，脱硝烟筒侧壁开设有连接孔，连接孔内设置有取样单元，取样装置连接有处理单元，处理单元连接有紫外臭氧浓度分析仪，紫外臭氧浓度分析仪连接有动力处理单元。本实用新型臭氧烟气脱硝后的残余臭氧浓度分析系统带有烟气预处理装置，整个工艺流程是负压取样状态，有效的去除掉烟气中的水雾、杂质并且高效的降低了烟气取样的温度，臭氧浓度分析仪具备自动零点校准的功能，整套系统可以实现24小时连续运行，可根据烟气臭氧脱硝后残余的臭氧浓度来实时调整前端臭氧发生器的投加臭氧浓度和产量，有效的避免了烟气臭氧脱硝后逃逸浓度过高和超量排放的问题。