一种可调式多功能转盘叶片及转盘
授权
摘要
本实用新型提供了一种可调式多功能转盘叶片及转盘，所述的转盘叶片包括叶片本体及安装在叶片本体上的多个吸嘴组件，所述的叶片本体包括固定部和框部，所述的框部开设有多条用于安装所述的吸嘴组件的滑槽，所述的吸嘴组件可滑动的安装在所述的滑槽上。本实用新型的可调式多功能转盘叶片及转盘，可以利用吸嘴位置的变化，来同时兼容一个硅片多种栅线和多种硅片尺寸的结构设计，本设计结构简单，实用性和兼容性强。相比较吸嘴固定的结构，此设计更有推广空间。
基本信息
专利标题 ：
一种可调式多功能转盘叶片及转盘
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020450313.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-03-31
授权号 ：
CN211828721U
授权日 ：
2020-10-30
发明人 ：
吴廷斌张学强张建伟罗银兵祝志强
申请人 ：
罗博特科智能科技股份有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市工业园区唯亭港浪路3号
代理机构 ：
苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
李艾
优先权 ：
CN202020450313.8
主分类号 ：
H01L21/683
IPC分类号 ：
H01L21/683 H01L21/677
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/683
用于支承或夹紧的
法律状态
2020-10-30 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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