一种侧向场FBAR结构
专利申请权、专利权的转移
摘要
本实用新型公开了一种侧向场FBAR结构,结构包括:衬底,键合层,压电层和电极。具体的,在其中一硅衬底上依次生长电极层和压电层,在压电层上生长键合层,对另一硅衬底刻腔,生长键合层,对两晶圆片对准键合,去除掉生长电极层的硅,再对电极图形化;通过本实用新型公开的一种侧向场FBAR结构,通过键合实现薄膜转移,使得压电层和电极层在硅衬底上生长,避免了传统的在化学机械抛光后的不完全平面生长的薄膜质量下降,而另一方面,实体键合可以相对带腔的键合提升键合的良率,该FBAR可以制造应用于传感器及滤波器中,在具体应用中有良好的性能表现。
基本信息
专利标题 :
一种侧向场FBAR结构
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202020458121.1
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-04-01
授权号 :
CN211908752U
授权日 :
2020-11-10
发明人 :
李国强
申请人 :
河源市众拓光电科技有限公司
申请人地址 :
广东省河源市高新技术开发区兴业大道东边、高新一路创业服务中心三楼317室
代理机构 :
广州凯东知识产权代理有限公司
代理人 :
李勤辉
优先权 :
CN202020458121.1
主分类号 :
H03H9/02
IPC分类号 :
H03H9/02 H03H9/13 H03H9/17 H03H9/46 H03H3/007 H03H3/02
法律状态
2022-03-15 :
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移IPC(主分类) : H03H 9/02
登记生效日 : 20220303
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 河源市众拓光电科技有限公司
变更后权利人 : 广州市艾佛光通科技有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 517000 广东省河源市高新技术开发区兴业大道东边、高新一路创业服务中心三楼317室
变更后权利人 : 510700 广东省广州市黄埔区开源大道136号B2栋1103室
登记生效日 : 20220303
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 河源市众拓光电科技有限公司
变更后权利人 : 广州市艾佛光通科技有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 517000 广东省河源市高新技术开发区兴业大道东边、高新一路创业服务中心三楼317室
变更后权利人 : 510700 广东省广州市黄埔区开源大道136号B2栋1103室
2020-11-10 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载