本实用新型涉及高精度加工技术领域，尤其为高精度真空面制作夹具装置，包括调节座、真空夹具本体和调节箱，所述真空夹具本体内部的右侧位置上安装有调节箱，所述调节箱右侧的中间位置上安装有密封接头，所述密封接头通过导气管与真空夹具本体之间密封连接，所述密封接头的外侧套覆有防护套，所述防护套通过连接杆与调节箱内部的限位块连接，所述防护套内部的中间位置上对称设置有隔板，两个所述隔板的上方位置上设置有固定楔形块，所述真空夹具本体远离防护套一侧的前后两侧位置上对称设置有调节座；本实用新型中，通过设置调节箱和防护套，避免在进行使用时出现密封接头与导气管的连接处受到外界异物或者冷却液侵蚀的问题。