一种含氟尾气中四氟化硅的洗涤处理系统

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摘要

本实用新型提供一种含氟尾气中四氟化硅的洗涤处理系统，包括两套相互连通的洗涤吸收装置；每一套洗涤吸收装置包括相互连通的洗涤器和氟吸收塔，前一洗涤吸收装置的氟吸收塔连通后一洗涤吸收装置的洗涤器，前一洗涤吸收装置的洗涤器的进气口与含氟尾气进气管连通，后一洗涤吸收装置的氟吸收塔的出气口与净化尾气出气管连通；所述洗涤器和氟吸收塔均设置有洗涤液循环回路；前一洗涤吸收装置中的洗涤器的洗涤液循环回路上连接成品氟硅酸出液管用于排出氟硅酸，后一洗涤吸收装置中的氟吸收塔的洗涤液循环回路上设置有第一洗涤液补液管用于外界输入洗涤液；两洗涤吸收装置之间以及每一洗涤吸收装置的洗涤器和氟吸收塔之间均通过补液管网相互连通进行洗涤液补液。

基本信息

专利标题：

一种含氟尾气中四氟化硅的洗涤处理系统

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202020467809.6

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-04-02

授权号：

CN212017342U

授权日：

2020-11-27

发明人：

洪铭阳

申请人：

福建易宏环保工程技术有限责任公司

申请人地址：

福建省泉州市南安市溪美镇山工业区

代理机构：

福州科扬专利事务所

代理人：

郭梦羽

优先权：

CN202020467809.6

主分类号：

B01D53/68

IPC分类号：

B01D53/68 B01D53/78 B01D53/75 B01D53/96