空气静压导轨

授权

摘要

本实用新型提供了一种空气静压导轨，所述空气静压导轨包括导轨、设置在所述导轨上侧的顶板、设置在所述导轨下侧的底板、设置在所述导轨两侧的两个侧板、气控组件，所述顶板、底板和侧板上均设有气道和节流器，所述节流器设置在气道靠近所述导轨的一侧，所述气控组件包括控制板和多个进气接口，多个所述进气接口与所述气道连接，以向所述气道内注入空气，所述顶板和底板上的气道相互独立，所述控制板控制进入空气压力以改变所述顶板和底板与所述导轨之间的气膜厚度。本实用新型的空气静压导轨，可以对运行的底板和顶板进行运动补偿，适合高精度的检测。

基本信息

专利标题：

空气静压导轨

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202020470868.9

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-04-02

授权号：

CN211852514U

授权日：

2020-11-03

发明人：

陈万群滕翔宇王斌霍德鸿丁辉

申请人：

苏州智润精工科技有限公司

申请人地址：

江苏省苏州市昆山开发区前进东路科技广场大楼404室56号工位

代理机构：

苏州威世朋知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：

刘振龙

优先权：

CN202020470868.9

主分类号：

F16C32/06

IPC分类号：

F16C32/06