一种物理吸附仪PFC电压力控制系统
授权
摘要
本实用新型公开了一种物理吸附仪PFC电压力控制系统，包括箱体，所述箱体内靠近底部位置设置有托盘，所述托盘的顶部设置有杜瓦瓶，所述箱体的顶部设置有注入口，所述注入口的底部设置有与杜瓦瓶相连通的连通管，所述箱体的内壁顶部分别设置有与杜瓦瓶相连接的液位仪与歧管，所述歧管上设置有压力传感器，所述箱体的内壁一侧固定连接有固定座。本实用新型中，通过压力传感器感应歧管中的气压，并将结果反馈给控制器，通过控制器控制可控比例阀门配合气源与真空泵，即可进行抽气与投气的动态控制工作，能够有效提升结构的工作效率，同时通过设置的滑动箱门结构不仅能够稳定的连接而且可以快速打开，方便进行检修工作。
基本信息
专利标题 ：
一种物理吸附仪PFC电压力控制系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020473125.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-04-03
授权号 ：
CN212381114U
授权日 ：
2021-01-19
发明人 ：
丁辉
申请人 ：
北京彼奥德电子技术有限公司
申请人地址 ：
北京市昌平区城南街道南郝庄村西
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202020473125.7
主分类号 ：
H02M1/42
IPC分类号 ：
H02M1/42 H05K5/02 H05K5/06
法律状态
2021-01-19 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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