传输系统
授权
摘要
本实用新型实施例提供了一种传输系统，包括：多个晶圆载入埠、控制装置及第一搬运装置；其中，所述多个晶圆载入埠排列成多行并设置在第一支撑部件上，所述第一支撑部件用于设置在半导体机台的入口端；所述第一搬运装置，用于在收到所述控制装置的第一指令后，将装载有晶圆的晶圆传送盒从第一暂存区域搬运至对应的晶圆载入埠中，以使所述半导体机台的抓取装置从所述晶圆传送盒中获取晶圆，并将获取的晶圆传送至所述半导体机台的反应腔中进行半导体工艺处理。
基本信息
专利标题 ：
传输系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020480331.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-04-03
授权号 ：
CN211957611U
授权日 ：
2020-11-17
发明人 ：
李明刘隆冬周颖
申请人 ：
长江存储科技有限责任公司
申请人地址 ：
湖北省武汉市东湖新技术开发区未来三路88号
代理机构 ：
北京派特恩知识产权代理有限公司
代理人 ：
李梅香
优先权 ：
CN202020480331.0
主分类号 ：
H01L21/677
IPC分类号 ：
H01L21/677
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/677
用于传送的，例如在不同的工作站之间
法律状态
2020-11-17 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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