一种用于透镜缺陷检测的双倍率双远心光学系统
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摘要

本实用新型公开了一种用于透镜缺陷检测的双倍率双远心光学系统。入射光线由物镜前组聚焦,再经分光棱镜折转后,得到两组独立光路,其中一路光线经第一物镜后组成像于第一垂直像面,另一路光线经第二物镜后组成像于第二垂直像面,得到不同的倍率。检测时可针对不同口径的待检透镜,选择合适倍率,提高划痕、麻点等透镜缺陷的检测效率,满足检测精度。光学系统在两组物镜后组中分别设置一非球面透镜,提高了成像质量,减小了系统总长。本实用新型提供的透镜缺陷检测的双倍率双远心光学系统,克服了现有技术中双远心系统筒长长、体积庞大、造价成本高的缺陷,同时克服了变倍率远心系统在高精度检测时存在的调节倍率误差的不足,具有广泛的应用前景。

基本信息
专利标题 :
一种用于透镜缺陷检测的双倍率双远心光学系统
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202020482544.7
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-04-06
授权号 :
CN211653287U
授权日 :
2020-10-09
发明人 :
李加慧季轶群曹冰
申请人 :
苏州大学
申请人地址 :
江苏省苏州市相城区济学路8号
代理机构 :
苏州创元专利商标事务所有限公司
代理人 :
陶海锋
优先权 :
CN202020482544.7
主分类号 :
G02B13/22
IPC分类号 :
G02B13/22  G02B13/18  G01M11/02  
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02B
光学元件、系统或仪器附注
G02B13/00
为下述用途专门设计的光学物镜
G02B13/22
远心物镜或透镜系统
法律状态
2020-10-09 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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