一种软X射线光源装置
专利权的终止
摘要
本实用新型公开了一种软X射线光源装置，包括用于控制激光的延时控制器及激光器，真空放电室、探测系统和高压直流电源。所述探测系统包括增强CCD和极紫外光谱仪，所述真空放电室位于所述激光器旁的一侧安装高透镜，所述延时控制器连接激光器，所述高透镜在同一水平面的旁侧依次安装有透镜、半反半透镜，所述激光器产生的激光直射于正下方的半反半透镜上，再经过所述透镜及高透镜聚焦所述真空放电室内的目标靶材，产生预电离等离子体，经过所述真空放电室内阴极与阳极之间高压放电，实现“水窗波”段软X射线输出。本实用新型可以获得较高功率的、稳定的软X射线输出，具有体积小，运行成本低的优点。
基本信息
专利标题 ：
一种软X射线光源装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020485573.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-04-06
授权号 ：
CN211406413U
授权日 ：
2020-09-01
发明人 ：
徐强田赫李景奎崔金刚
申请人 ：
东北林业大学
申请人地址 ：
黑龙江省哈尔滨市香坊区和兴路26号
代理机构 ：
北京化育知识产权代理有限公司
代理人 ：
尹均利
优先权 ：
CN202020485573.9
主分类号 ：
H05G2/00
IPC分类号 ：
H05G2/00
法律状态
2022-03-18 ：
专利权的终止
未缴年费专利权终止IPC(主分类) : H05G 2/00
申请日 : 20200406
授权公告日 : 20200901
终止日期 : 20210406
申请日 : 20200406
授权公告日 : 20200901
终止日期 : 20210406
2020-09-01 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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