一种机体内智能隔离和洁净设备
授权
摘要
本实用新型公开了一种机体内智能隔离和洁净设备，包括光刻机和电控柜，其特征在于，所述光刻机内部主要包括风刀部件和不锈钢管部件，电控柜内部分别设有配电模块、液晶显示屏和气控盒。本实用新型，目的是为了防止经常加载的晶圆传送盒会累积影响到光刻机机体内部的温湿度和微尘数量，提高芯片制程的良品率。本实用新型隔绝晶圆传送盒和晶圆片对光刻机机体内部温湿度和微尘累积的同时，还利用负压清洁打开门的晶圆传送盒清洁机械臂每次吸取的晶圆片上下外表面，还会清洁机体内部。
基本信息
专利标题 ：
一种机体内智能隔离和洁净设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020509037.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-04-09
授权号 ：
CN211857177U
授权日 ：
2020-11-03
发明人 ：
李占国谭璜徐建
申请人 ：
弥费实业（上海）有限公司
申请人地址 ：
上海市浦东新区泥城镇秋山路1775弄3-4号1楼
代理机构 ：
北京汇捷知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
于鹏
优先权 ：
CN202020509037.8
主分类号 ：
G03F7/20
IPC分类号 ：
G03F7/20 B08B5/02 B08B17/02
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2020-11-03 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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