一种有效屏蔽向外热辐射的真空蒸发源加热装置
授权
摘要
本实用新型涉及一种有效屏蔽向外热辐射的真空蒸发源加热装置。其包括：盛装装置，其上端开口且内部设有安装孔，安装孔内设置有坩埚；旋转导入器，其一端设有回转杆；四电极法兰，与旋转导入器连接，且中部设有穿孔，穿孔外围设有多个连接孔，并通过连接孔连接有两个电极柱和两个热偶电极；所述两个电极柱的上端分别对应连接有电极接线块，两个电极接线块之间连接有加热丝；加热丝的中部伸入盛装装置的内部并用于对坩埚进行加热；两个热电偶电极的端部伸入盛装装置并固定盛装装置；热偶丝从盛装装置内部穿出，接在热偶电极柱上；所述回转杆穿过盛装装置并连接有用于遮挡坩埚的挡片。本实用新型结构简单，测量精度高，且可有效减少热量向外辐射。
基本信息
专利标题 ：
一种有效屏蔽向外热辐射的真空蒸发源加热装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020517683.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-04-10
授权号 ：
CN212025443U
授权日 ：
2020-11-27
发明人 ：
蔡金明卢建臣张辉蔡晓明
申请人 ：
东莞市道睿石墨烯研究院
申请人地址 ：
广东省东莞市道滘镇万道路2号华科城创新岛产业孵化园12栋
代理机构 ：
东莞科强知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
肖冬
优先权 ：
CN202020517683.9
主分类号 ：
C23C14/24
IPC分类号 ：
C23C14/24
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/24
真空蒸发
法律状态
2020-11-27 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
