射频离子源离子束束径约束器及对应的束径控制装置
授权
摘要
本实用新型涉及射频离子源离子束束径约束器，其特征在于：所述束径约束器包括具有可供离子束穿过的中空结构的底座、多个叶片及驱动机构；所述多个叶片设于底座一端并环绕中空结构呈圆周排布，多个叶片的尾端伸入中空结构所在区域以围合形成可供离子束穿过的光阑，所述驱动机构可驱动叶片的尾端相对叶片排布形成的圆周中心运动以调节光阑大小。本实用新型还涉及一种包括束径约束器的控制装置，采用该装置进行离子束束径控制，操作方便，调节精度好，效率高，而且成本节约。
基本信息
专利标题 ：
射频离子源离子束束径约束器及对应的束径控制装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020536808.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-04-13
授权号 ：
CN212322948U
授权日 ：
2021-01-08
发明人 ：
李晓静张旭赵仕燕夏超翔张宁
申请人 ：
中国兵器科学研究院宁波分院
申请人地址 ：
浙江省宁波市高新区凌云路199号
代理机构 ：
宁波诚源专利事务所有限公司
代理人 ：
袁忠卫
优先权 ：
CN202020536808.2
主分类号 ：
H01J3/12
IPC分类号 ：
H01J3/12 H01J3/36
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J3/00
通用于两种或两种以上基本类型的放电管或灯的电子光学或离子光学装置的零部件或离子阱的零部件
H01J3/12
控制射线或射束截面的装置；校正射束像差的装置，如由透镜引起的
法律状态
2021-01-08 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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