本实用新型涉及半导体制造技术领域。且公开了一种真空气压调节装置，包括外腔室，所述外腔室内部设置有内腔室，且所述内腔室与所述外腔室固定连接，所述内腔室底端设置有有限联通管，且所述有限联通管与所述内腔室固定连接。该一种真空气压调节装置，通过有限联通管，有限联通管为有底管状结构，和内腔室直接相连，底部部分镂空，镂空部分和外腔室相连，盖板为圆形薄板，可盖在有限联通管的镂空部分，且可以自由上下移动，盖板下落将有限联通管的镂空部分盖住，内外腔隔绝(或有微小泄漏)，盖板状态和内腔室和外腔室压差，有限联通管镂空面积及盖板重量有关，当压差较大时，推动盖板上升，压差较小时盖板下落，可以实现内外压差恒定，而不随腔室压力变化。