一种光致发光的检测装置
授权
摘要
一种光致发光的检测装置，包括：密闭箱体、硅放置板、相机支架、检测相机和发光件；硅放置板安装于密闭箱体的底部，用于放置硅片和/或晶圆片；相机支架的一端固定于密闭箱体内，另一端连接检测相机；检测相机的镜头部分指向硅放置板；发光件设置于检测相机与硅放置板之间的位置；发光件包括：环状安装壳和灯件；环状安装壳为喇叭状的通壳，其下底面的口径大于上顶面的口径；检测相机的镜头位于上顶面的上方。环状安装壳的内环设有锥形端面；锥形端面设有若干个灯安装口；灯件安装于灯安装口，灯件为红外灯。检测装置能更准确、快速地捕捉到光子的分布，从而经过图像处理得到所需要的器件结构的状况，具有结构简单、成本低和检测精确的特点。
基本信息
专利标题 ：
一种光致发光的检测装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020546229.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-04-14
授权号 ：
CN211825686U
授权日 ：
2020-10-30
发明人 ：
蔺旭利黄良辉杨至灏贺克成
申请人 ：
佛山市瑞纳新材科技有限公司
申请人地址 ：
广东省佛山市南海区桂城街道夏南路12号天富科技中心3号楼一层101单元(住所申报)
代理机构 ：
佛山市禾才知识产权代理有限公司
代理人 ：
梁永健
优先权 ：
CN202020546229.6
主分类号 ：
G01N21/63
IPC分类号 ：
G01N21/63 G01N21/88 G01N21/01
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段，即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
G01N21/62
所测试的材料在其中被激发，因之引起材料发光或入射光的波长发生变化的系统
G01N21/63
光学激发的
法律状态
2020-10-30 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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