本实用新型提供一种五氟化磷合成装置包括：一反应室，其内设置若干并联连接的螺旋状的管式反应器，其外壁上设有冷却夹套；一固体加料器，设置在所述反应室的顶端，包括一料仓、一固体分布器及若干个螺旋加料器，所述料仓的顶部设置固体加料口，若干所述螺旋加料器设置在所述固体分布器的底部，与若干个所述管式反应器一一对应设置，每个所述螺旋加料器的出口通过管道与对应的所述管式反应器的上端相连通；每个所述螺旋加料器的内置螺旋均水平设置；一气体加料器，设置在所述反应室的底端；所述管式反应器，其顶端与所述固体加料器相连通，其底端与所述气体加料器相连通。该装置的氟气和磷的反应效率高，原料利用率高。