清洗设备
授权
摘要
本实用新型公开了一种清洗设备，包括：清洗器，清洗器具有用于容纳清洗溶液的容纳槽；第一循环泵，第一循环泵的进口与容纳槽连通；第一过滤器，第一过滤器的进口与第一循环泵的出口连通，第一过滤器的出口与容纳槽连通；第二循环泵，第二循环泵的进口与容纳槽连通；第二过滤器，第二过滤器的进口与第二循环泵的出口连通，第二过滤器的出口与容纳槽连通；控制模块，控制模块与第二循环泵连接。根据本实用新型的清洗设备，实现了既保证了清洗的效果，又降低了消耗。
基本信息
专利标题 ：
清洗设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020608601.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-04-21
授权号 ：
CN212469044U
授权日 ：
2021-02-05
发明人 ：
陈建铭卢健平
申请人 ：
徐州鑫晶半导体科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省徐州市经济技术开发区鑫芯路1号
代理机构 ：
北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
孙立波
优先权 ：
CN202020608601.1
主分类号 ：
B08B3/10
IPC分类号 ：
B08B3/10 B08B3/14 B08B13/00 H01L21/67 B08B3/08
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B3/00
使用液体或蒸气的清洁方法
B08B3/04
与液体接触的清洁
B08B3/10
对液体或被净化物体进行附加处理的，如用加热，电力，振动
法律状态
2021-02-05 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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