本实用新型涉及一种高纯气体氧含量气相色谱仪，包括检测器和十通阀，十通阀的十个通口顺时针按顺序编号为通口一至通口十；通口十和通口七之间接有定量管，通口一连接有三通阀，三通阀的另外两个口分别连接有载气一进管和还原氢气进管，通口二与通口六之间连接有吸脱附炉，通口五连接有色谱柱，色谱柱连接检测器，通口八连接有样品出管，通口九连接有样品进管，通口四连接有载气二进管。本实用新型将高纯气体中的氧预先吸附于吸附柱中，彻底将氧氩分离后，提高氧吸附柱的温度，将吸附剂中吸附的微流氧气释放后，送入检测器进行检测，同时设计了吸附柱的活化装置，实现了在线活化吸附柱，可以快速分析高纯气体中的微量氧气。