海绵清洁前处理装置

专利权的终止

摘要

一种海绵清洁前处理装置，包括晶圆夹持机构、晶圆驱动机构、海绵清洁机构、喷洒机构、加压调节机构以及控制机构。藉此，通过模拟客户机台生产环境的晶圆转速、清洗液流量、海绵刷转速与转动方向、海绵刷与晶圆之间的间距、以及海绵刷与晶圆之间的下压力（down force）等环境参数，模拟客户使用状况，让客户可在使用前先利用本装置提供海绵产品的活化，将海绵刷状况提升，能在不占用客户机台时间进行预防性维护（PM）的情况下提供客户减少使用自身机台的时间来做先试运转（pre break‑in），从而缩短机台回线时间，不仅能大幅减少客户使用生产的机台，更能提高产量并减少产品缺陷。

基本信息

专利标题：

海绵清洁前处理装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202020621113.4

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-04-23

授权号：

CN211828698U

授权日：

2020-10-30

发明人：

顾致安庄子彦赵宏杰陈明良叶威新

申请人：

东安开发股份有限公司

申请人地址：

中国台湾新竹县湖口乡光复北路42号C栋5F

代理机构：

长沙正奇专利事务所有限责任公司

代理人：

何为

优先权：

CN202020621113.4

主分类号：

H01L21/67

IPC分类号：

H01L21/67