一种舟缓存结构
授权
摘要
一种舟缓存结构，包括支撑柱、存储底座以及托盘，所述存储底座设置于支撑柱与托盘之间；所述托盘设置于存储底座，托盘包括风扇以及水冷层；本实用新型通过在存储底座中设置限位块以及在托盘上设置隔离槽实现对舟定位，保证舟在工艺过程中不会产生偏移。
基本信息
专利标题 ：
一种舟缓存结构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020624557.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-04-23
授权号 ：
CN212412021U
授权日 ：
2021-01-26
发明人 ：
林佳继庞爱锁刘群张武林依婷
申请人 ：
深圳市拉普拉斯能源技术有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市坪山区坑梓街道吉康路1号
代理机构 ：
杭州天昊专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
董世博
优先权 ：
CN202020624557.3
主分类号 ：
H01L21/673
IPC分类号 ：
H01L21/673 H01L21/67 H01L31/18 C23C16/50 C23C16/458
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/673
使用专用的载体的
法律状态
2021-01-26 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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