一种新型供胶系统
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摘要
本实用新型提供一种新型供胶系统，包括：微流道平板、微流道平板吸盘、第一晶圆，第一晶圆吸盘，胶水存储单元、胶水驱动单元、对准机构、驱动机构，控制器，计算机，其中微流道平板被配置有微流道网格和多个汇胶槽。通过微流道网格，同时在所有汇胶槽形成所需胶量的微型胶水液滴，所有微型胶水液滴同时与第一晶圆接触，并转移到第一晶圆表面，完成对整张晶圆的点胶，生产效率得到了极大提升。
基本信息
专利标题 ：
一种新型供胶系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020627994.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-04-23
授权号 ：
CN212143228U
授权日 ：
2020-12-15
发明人 ：
李凡月
申请人 ：
拾斛科技（南京）有限公司
申请人地址 ：
江苏省南京市江北新区智达路6号智城园区2号楼720-82室
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202020627994.0
主分类号 ：
B05C1/02
IPC分类号 ：
B05C1/02 B05C11/10
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B05
一般喷射或雾化；对表面涂覆流体的一般方法
B05C
一般对表面涂布流体的装置
B05C1/00
在装置中使用工件与载有液体或其他流体的构件相接触，例如多孔构件装上作涂层用的液体，将液体或其他流体涂布于工件表面
B05C1/02
对分开的各个物品涂布液体或其他流体
法律状态
2020-12-15 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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