一种电磁式微镜结构
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摘要
一种电磁式微镜结构，其特征在于：所述的电磁式微镜结构，包括无磁性基底晶圆，盖板晶圆，悬臂梁结构，铁磁性镜面，晶圆键合界面层，吸气薄膜，空腔，电磁铁，金属片；其中：无磁性基底晶圆与盖板晶圆之间带有晶圆键合界面层，悬臂梁结构与无磁性基底晶圆连接，铁磁性镜面设置在悬臂梁结构上，吸气薄膜设置在盖板晶圆内，盖板晶圆内为空腔，电磁铁和金属片设置在盖板晶圆外部。本实用新型的优点：本实用新型的所述的电磁式微镜结构，通过电磁铁影响磁性镜面和悬臂的翘曲角度，进而改变通过盖板晶圆摄入的光线的方向，最大的偏转角可以达到45度。实现光信号的传输。磁性镜面和悬臂，电磁驱动控制，偏转角度最大可达30至45度。
基本信息
专利标题 ：
一种电磁式微镜结构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020630475.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-04-24
授权号 ：
CN212515215U
授权日 ：
2021-02-09
发明人 ：
黄向向杨敏道格拉斯·雷·斯巴克斯关健梁泽山
申请人 ：
罕王微电子（辽宁）有限公司
申请人地址 ：
辽宁省抚顺市经济开发区北厚西出口21#楼（一层）
代理机构 ：
沈阳晨创科技专利代理有限责任公司
代理人 ：
张晨
优先权 ：
CN202020630475.X
主分类号 ：
G02B26/08
IPC分类号 ：
G02B26/08
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02B
光学元件、系统或仪器附注
G02B26/00
利用可移动的或可变形的光学元件控制光的强度、颜色、相位、偏振或方向的光学器件或装置，例如，开关、选通或调制
G02B26/08
控制光的方向
法律状态
2021-02-09 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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