一种晶圆移动轨道传感器感应系统
授权
摘要
本实用新型提供一种晶圆移动轨道传感器感应系统，包括传感器，时间继电器，电磁阀和流量计；其特征在于，所述传感器位于设备前段，所述传感器的信号输出端与时间继电器相连，所述时间继电器的输出端与电磁阀相连，所述电磁阀通过管道与流量计相连；本实用新型通过进料位置的传感器的感应，和新增的设备时间继电器的衔接，可以检测空焊资材在移动的整个过程中清除情况，清除的能力由流量的实时监控进行体现，最后通过视觉系统的及时探测和反馈异常资材发生。
基本信息
专利标题 ：
一种晶圆移动轨道传感器感应系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020630596.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-04-23
授权号 ：
CN212695121U
授权日 ：
2021-03-12
发明人 ：
张伟孔杰王燕军刘星施伟峰黄春桃位冬冬常成建边毅刘洪岭周韩瑞程蛟刘许明鲍月胜朱凯曹亚兵赵尚尚关饷张庆松张华明汪庆喜尤晓廖志远吴辉云陈亮何伟
申请人 ：
海太半导体（无锡）有限公司
申请人地址 ：
江苏省无锡市新吴区新区出口加工区K5、K6地块
代理机构 ：
无锡市朗高知识产权代理有限公司
代理人 ：
赵华
优先权 ：
CN202020630596.4
主分类号 ：
H01L21/66
IPC分类号 ：
H01L21/66
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/66
在制造或处理过程中的测试或测量
法律状态
2021-03-12 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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