一种ALD背钝化工艺中防止铝舟划伤的打磨工装
授权
摘要
本实用新型公开一种ALD背钝化工艺中防止铝舟划伤的打磨工装，包括载舟平台桌，气缸机构，顶齿机构，以及多片硅片；载舟平台桌上设有用于固定铝舟位置的限位件；载舟平台桌下部的两个侧面分别设有一个用于支撑气缸机构的支撑件；气缸机构设在载舟平台桌的桌面下方，气缸和导杆的下端均固定在机构底座上，机构底座两端分别设在两个支撑件上，气缸和导杆的上端均与顶齿机构的下部连接，气缸工作状态下，上下往复式推动顶齿机构沿着导杆上下移动；顶齿机构的上部为梳齿状顶齿，顶齿的每个齿槽用于插接一片硅片；铝舟下方的桌面上设有与铝舟对应尺寸的桌孔，桌孔用于穿过顶齿。
基本信息
专利标题 ：
一种ALD背钝化工艺中防止铝舟划伤的打磨工装
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020632580.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-04-23
授权号 ：
CN212399082U
授权日 ：
2021-01-26
发明人 ：
刘刚李耕航
申请人 ：
徐州谷阳新能源科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省徐州市邳州市高新技术产业开发区滨湖大道南香山路西
代理机构 ：
南京乐羽知行专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
李玉平
优先权 ：
CN202020632580.7
主分类号 ：
B24B15/08
IPC分类号 ：
B24B15/08 B24B41/00 B24B41/06 B24B41/04 B24B1/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B24
磨削；抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给
B24B15/00
适用于磨削基座面的机床或装置；及其附件
B24B15/08
使一个基座面在另一个基座面上移动来协同操作，磨削基面
法律状态
2021-01-26 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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