并联双管路抽气系统
授权
摘要
本实用新型公开了并联双管路抽气系统，包括真空室和主管路，主管路与真空室连接，在主管路上设置并联支路，主管路上安装有蜗轮阀，并联支路上安装挡板阀，主管路再连接串联管道，主管路与串联管道之间安装罗茨泵，串联管道末端连接旋片泵。真空室连接主管路，主要通过主管路抽气，主管路上并联一个支路，通过挡板阀微调抽气速率，这样优化了抽气系统，降低了抽气速率，节省了工作气体，容易控制工作气体参数；真空室在原有左右两侧加热的基础上，另外增加三组加热，能够多方位均匀加热，加热速度快。
基本信息
专利标题 ：
并联双管路抽气系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020632971.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-04-24
授权号 ：
CN212376876U
授权日 ：
2021-01-19
发明人 ：
聂毅东朱刚吴立南
申请人 ：
南京朗仕億等离子体制造科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省南京市江北新区惠达路9号国电南自数字化产业园A楼115室
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202020632971.9
主分类号 ：
F04C23/00
IPC分类号 ：
F04C23/00 F04C25/02 C23C16/458 C23C16/46
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F04
液体变容式机械；液体泵或弹性流体泵
F04C
旋转活塞或摆动活塞的液体变容式机械
F04C
旋转活塞或摆动活塞的液体变容式机械
F04C23/00
专门适用于弹性流体两个或更多个泵的组合，每个是旋转活塞式的或摆动活塞泵类型的；专门适用于弹性流体的泵送装置；专门适用于弹性流体的多级泵
法律状态
2021-01-19 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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