一种金铂扩散舟

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摘要

本实用新型提出一种金铂扩散舟，包括舟底板和硅片固定件，舟底板的一端设置有挂孔，舟底板上设置有多组硅片固定件，硅片固定件包括两对顶头和两对分档杆，顶头的中心转动设置有螺柱，分档杆靠近舟底板的边缘设置，舟底板上设置有舟头板和护板，护板上均匀分布有若干个散气孔，舟底板上介于一对舟头板之间设置有挂孔，舟底板上介于每对顶头之间设置有底孔，舟底板的底部均匀设置有若干个球状凸头。本实用新型具有层叠排舟和分段排舟两种排舟方式，气体流通效果较好，有利于提高硅片扩散质量；本装置的顶头支撑高度以及分档杆间距均可合理调整，利用率较高，设计合理，结构简单，适合大规模推广。

基本信息

专利标题：

一种金铂扩散舟

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202020637978.X

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-04-24

授权号：

CN211507587U

授权日：

2020-09-15

发明人：

魏兴政高飞

申请人：

济南兰星电子有限公司

申请人地址：

山东省济南市章丘区明水街道赭山工业园

代理机构：

济南誉琨知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：

庞庆芳

优先权：

CN202020637978.X

主分类号：

H01L21/673

IPC分类号：

H01L21/673