集成并列式驱动线圈的电磁式MOEMS扫描光栅微镜
授权
摘要
本实用新型涉及一种集成并列式驱动线圈的电磁式MOEMS扫描光栅微镜，属于光谱分析技术领域，包括固定边框、垂直连接在固定边框内侧的两个对称的扭转梁，以及与扭转梁连接的偏晶向硅基微镜板；所述偏晶向硅基微镜板的正面刻蚀有闪耀光栅，偏晶向硅基微镜板的背面集成有驱动线圈和角度传感线圈；所述驱动线圈为非封闭矩形单回路，且在供力方向上以扭转梁为中心轴线对称、平行、等间距地条纹状分布，所述角度传感线圈以矩形渐开线形式由里向外分布。通过采用并列式驱动线圈，保障扫描光栅微镜的谐振工作，有效降低功耗、工艺加工难度和制造成本。
基本信息
专利标题 ：
集成并列式驱动线圈的电磁式MOEMS扫描光栅微镜
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020640027.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-04-24
授权号 ：
CN211979328U
授权日 ：
2020-11-20
发明人 ：
陈亮顾雯雯
申请人 ：
西南大学
申请人地址 ：
重庆市北碚区天生路2号
代理机构 ：
北京同恒源知识产权代理有限公司
代理人 ：
赵荣之
优先权 ：
CN202020640027.8
主分类号 ：
G02B26/10
IPC分类号 ：
G02B26/10 G02B27/44
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02B
光学元件、系统或仪器附注
G02B26/00
利用可移动的或可变形的光学元件控制光的强度、颜色、相位、偏振或方向的光学器件或装置，例如，开关、选通或调制
G02B26/08
控制光的方向
G02B26/10
扫描系统
法律状态
2020-11-20 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
