本实用新型涉及一种CMP后清洗设备的液体传输管路,包括：供液装置，供液装置的出液口一端连接有进液管，且进液管的末端呈倒“L”型；进液管的尾端下方设有腔体，供液装置通过进液管将液体输送至腔体内；在进液管的前部设有回吸阀和过滤器；在过滤器上还连通有排液组件，用于将过滤器内部残留的液体排出；排液组件包括排液管，在排液管上设有压力监测器；排液管上位于压力监测器的一侧还设有排水阀，排水阀由反馈系统控制，本实用新型在进液管中增设了回吸阀，利用回吸阀将进液管中残留的药液进行回流吸收，同时利用反馈系统和压力监测器监控过滤器内的压力，从而实时控制排水阀的开启，保证过滤器中的药液及时排出，确保不会有药液对硅片造成腐蚀。