用于清洗薄膜式真空规沉积物清除装置的清洗设备
授权
摘要
本实用新型公开了一种用于清洗薄膜式真空规沉积物清除装置的清洗设备，清洗设备包括沿清洗方向依次设置的预处理腔室、电化学清洗腔室、等离子清洗腔室、超声清洗腔室，以及用于在相邻两个腔室之间传递所述真空规沉积物清除装置的运输装置。如此设计，依次通过超声预清洗、电化学清洗、等离子清洗和超声清洗四道工序对真空规沉积物清除装置上的沉积物进行清洗，可以高效地清除真空规沉积物清除装置上附着的各种沉积物，实现真空规沉积物清除装置的重复利用；而且，通过运输装置实现真空规沉积物清除装置在四个腔室之间的自动流转，实现了对真空规沉积物清除装置的自动化清洗，提高了清洗效率。
基本信息
专利标题 ：
用于清洗薄膜式真空规沉积物清除装置的清洗设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020645943.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-04-24
授权号 ：
CN212069751U
授权日 ：
2020-12-04
发明人 ：
张心强陈林
申请人 ：
中科九微科技有限公司
申请人地址 ：
四川省南充市顺庆区潆华北路四段299号中科九微科技有限公司
代理机构 ：
北京三聚阳光知识产权代理有限公司
代理人 ：
于妙卓
优先权 ：
CN202020645943.0
主分类号 ：
B08B3/12
IPC分类号 ：
B08B3/12 B08B3/08 B08B7/00 B08B13/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B3/00
使用液体或蒸气的清洁方法
B08B3/04
与液体接触的清洁
B08B3/10
对液体或被净化物体进行附加处理的，如用加热，电力，振动
B08B3/12
用声波或超声波振动的（声波或超声波陶器或餐具清洗或冲洗机入A47L15/13；使用超声波技术清洗或冲洗天然牙、假牙或类似于天然牙的入A61C17/20；超声波振动用于一般化学、物理，或物理化学过程中的入B01J19/10
法律状态
2020-12-04 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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