一种双层石英工艺室结构，安装在加热炉体上，包括炉管，炉管包括外炉管和內炉管，外炉管的内壁与內炉管的外壁之间设有间隔空间；炉管上安装有法兰，第一法兰上设置有第一通气管；第二法兰上安装有第二炉盖，第二炉盖上设置有抽气管，內炉管后端的端口与第二炉盖相连，并与抽气管相连通；第二炉盖上设置有充气管，充气管的内端伸入到间隔空间中。本发明的双层石英工艺室结构，设置有内外两个炉管，炉管之间具有夹层空间，能够通过充气管通入保护气体，使夹层空间内保护气体的气压微高于作为工艺腔室的內炉管内腔的气体压力，防止工艺腔室内气体进入到夹层内部，防止外炉管内壁上有工艺反应物沉积，从而避免外炉管因此发生破裂，提高其使用寿命。