一种MEMS探针卡固定装置及关键机构
授权
摘要
本实用新型公开了一种MEMS探针卡固定装置，包括基板、调节杆、水平机构和夹持机构，所述基板的上端设置有水平机构，水平机构的上端设置有夹持机构,所述基板的上端内部开设有移动槽，移动槽内设置有齿轮，齿轮内固定有调节杆,调节杆与基板螺纹连接，移动槽的前后两侧均开设有连接槽,本实用新型结构简单，操作方便，通过夹持机构对探针卡进行夹持固定，然后通过调节杆带动齿轮转动，齿轮带动齿座转动，进而对调节连接板的水平状态，通过水平仪观察水平状态。
基本信息
专利标题 ：
一种MEMS探针卡固定装置及关键机构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020672970.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-04-28
授权号 ：
CN212060358U
授权日 ：
2020-12-01
发明人 ：
于海超赵梁玉周明
申请人 ：
强一半导体（苏州）有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市苏州工业园区东长路18号39幢2楼
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202020672970.7
主分类号 ：
G01R1/067
IPC分类号 ：
G01R1/067 G01R31/26 G01R31/28
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01R
测量电变量；测量磁变量
G01R1/00
包括在G01R5/00至G01R13/00或G01R31/00组中的各类仪器或装置的零部件
G01R1/02
一般结构零部件
G01R1/06
测量引线；测量探针
G01R1/067
测量探针
法律状态
2020-12-01 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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