石英舟
专利申请权、专利权的转移
摘要
一种石英舟,包括相对设置的两个端板以及安装在端板之间的支撑杆,支撑杆包括第一支撑杆、第二支撑杆和第三支撑杆,第一支撑杆、第二支撑杆和第三支撑杆均对称且间隔设置有两个,第二支撑杆均位于对应第一支撑杆的正下方,第三支撑杆的高度位置低于第二支撑杆,且位于第二支撑杆的内侧;支撑杆的侧壁上均设有插槽,插槽均位于内侧,且沿轴向设置多个;第一支撑杆、第二支撑杆和第三支撑杆上的插槽对齐设置。本实用新型提供一种石英舟,第一支撑杆和第二支撑杆的插槽能够分别对硅片顶部和底部的两侧进行固定,从而能够降低加工时边角处的弯曲变形,从而减轻硅片背面之间产生的缝隙,降低绕镀宽度,提高加工质量。
基本信息
专利标题 :
石英舟
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202020673251.7
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-04-27
授权号 :
CN211972438U
授权日 :
2020-11-20
发明人 :
张海林刘国霞
申请人 :
青岛赛瑞达电子装备股份有限公司
申请人地址 :
山东省青岛市李沧区北崂路1022号F楼
代理机构 :
青岛清泰联信知识产权代理有限公司
代理人 :
李祺
优先权 :
CN202020673251.7
主分类号 :
C23C14/50
IPC分类号 :
C23C14/50 C23C16/458
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/50
基座
法律状态
2022-03-18 :
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移IPC(主分类) : C23C 14/50
登记生效日 : 20220308
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 青岛赛瑞达电子装备股份有限公司
变更后权利人 : 赛瑞达智能电子装备(无锡)股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 266000 山东省青岛市李沧区北崂路1022号F楼
变更后权利人 : 214000 江苏省无锡市锡山区精密机械产业园4号厂房一层南侧厂房及办公场地
登记生效日 : 20220308
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 青岛赛瑞达电子装备股份有限公司
变更后权利人 : 赛瑞达智能电子装备(无锡)股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 266000 山东省青岛市李沧区北崂路1022号F楼
变更后权利人 : 214000 江苏省无锡市锡山区精密机械产业园4号厂房一层南侧厂房及办公场地
2020-11-20 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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