一种提高气缸运动行程的放大伸缩机构
授权
摘要
一种提高气缸运动行程的放大伸缩机构,涉及硅片陶瓷盘的取料输送装置技术领域,包括上层机架、中间机架和底层机架,中间机架位于底层机架和上层机架之间,底层机架上平行设有2条直线导轨,中间机架通过底层机架上的直线导轨在底层机架上滑动;中间机架包括对称设置的两条滑轨,两条滑轨之间通过位于滑轨一端的连接板固定连接,气缸的伸出轴与连接板连接,上层机架通过其底部设置的轴承与滑轨配合实现上层机架在中间机架上的滑动。本实用新型有益效果:本实用新型以钢丝为行程放大机构,结构简单,运动行程大,解决了抛光生产过程中对载体陶瓷盘进行取料困难的问题,实现了陶瓷盘取料机构的轻便化,为其它抛光设备取料提供了有效的解决方案。
基本信息
专利标题 :
一种提高气缸运动行程的放大伸缩机构
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202020676164.7
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-04-28
授权号 :
CN212584047U
授权日 :
2021-02-23
发明人 :
贾波牛海涛郭光灿马龙峰张明亮
申请人 :
麦斯克电子材料股份有限公司
申请人地址 :
河南省洛阳市高新技术产业开发区滨河北路99号
代理机构 :
洛阳公信知识产权事务所(普通合伙)
代理人 :
陈佳丽
优先权 :
CN202020676164.7
主分类号 :
F15B15/02
IPC分类号 :
F15B15/02 B65G49/08 B65G47/82 F16H19/00
IPC结构图谱
F
F部——机械工程;照明;加热;武器;爆破
F15
流体压力执行机构;一般液压技术和气动技术
F15B
一般流体工作系统;流体压力执行机构,如伺服马达;不包含在其他类目中的流体压力系统的零部件
F15B
一般流体工作系统;流体压力执行机构,如伺服马达;不包含在其他类目中的流体压力系统的零部件
F15B15/00
将一个部件从一个位置移到另一个位置的流体致动装置
F15B15/02
以将流体致动元件的运动转换成最终操作元件的运动的方法为特点的机械布置
法律状态
2021-02-23 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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