一种屏蔽网电极的软聚焦离子化器
授权
摘要
本实用新型涉及一种屏蔽网电极的软聚焦离子化器,包括电离源、入口电极、多片圆环电极、多片屏蔽网电极、离子出口电极和直流电源;所述的屏蔽网电极中心有开孔,开孔左侧面被导电网封闭,右侧敞开;所述的多片屏蔽网电极右侧敞开口径从大逐渐缩小,形成漏斗状;所述的入口电极、多片圆环电极、多片屏蔽网电极、离子出口电极之间采用绝缘密封垫片隔开,形成中空的离子化器腔;本实用新型的离子聚焦方法是通过在一种屏蔽网电极的软聚焦离子化器内形成逐步软聚焦引导电场,产物离子可被高效聚焦引导并保持低电场软电离效果,具有很高的离子透过效率和软电离效果,不需要额外射频电源,在体积、功率、重量、成本等方面更有优势。
基本信息
专利标题 :
一种屏蔽网电极的软聚焦离子化器
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202020682022.1
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-04-29
授权号 :
CN211788914U
授权日 :
2020-10-27
发明人 :
沈成银邹雪李爱悦王鸿梅黄超群储焰南
申请人 :
中国科学院合肥物质科学研究院
申请人地址 :
安徽省合肥市蜀山湖路350号
代理机构 :
北京科迪生专利代理有限责任公司
代理人 :
邓治平
优先权 :
CN202020682022.1
主分类号 :
H01J49/06
IPC分类号 :
H01J49/06
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J49/00
粒子分光仪或粒子分离管
H01J49/02
零部件
H01J49/06
电子光学或离子光学装置
法律状态
2020-10-27 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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