一种应用于膜状扩散源生产的下料防凝装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种应用于膜状扩散源生产的下料防凝装置,主要涉及半导体膜生产设备技术领域,包括机架,在所述机架上设有料筒,设置在机架上的驱动电机通过传动轴与料筒内的基板连接,在所述基板上设有通孔,基板上间隔设置有若干叶片,叶片倾斜的固定在基板上,在所述叶片上设有通槽,在所述料筒内设有折流板,叶片、基板以及加强筋配合,使得物料混合运动,在折流板和叶片上的通槽相互配合下,使介质之间形成对流,就算介质粘度较高,也能高效的对介质进行均匀快速的混合,靠近通孔处的物料通过通孔进行位移,使得物料搅拌的更为均匀。
基本信息
专利标题 :
一种应用于膜状扩散源生产的下料防凝装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202020682963.5
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-04-29
授权号 :
CN212068484U
授权日 :
2020-12-04
发明人 :
汪良恩王锡康姜兰虎乔建明王桂芝
申请人 :
山东芯源微电子有限公司
申请人地址 :
山东省济南市章丘区清源大街北段路西
代理机构 :
济南瑞宸知识产权代理有限公司
代理人 :
王萍
优先权 :
CN202020682963.5
主分类号 :
B01F7/18
IPC分类号 :
B01F7/18 H01L21/225
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01F
混合,例如,溶解、乳化、分散
B01F7/00
在固定容器内具有旋转搅拌装置的混合机;糅合机
B01F7/16
具有绕一个垂直轴旋转的搅拌器的
B01F7/18
带桨翼或旋臂的
法律状态
2020-12-04 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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