一种具有自动清洗功能的闸阀
授权
摘要
本实用新型涉及一种具有自动清洗功能的闸阀，包括与清洗腔入口相适配的闸阀；所述闸阀包括：闸阀本体；闸阀本体的一端设有气体供给部和超纯水供给部；气体供给部和超纯水供给部并联设置在方向阀上；闸阀本体上与清洗腔入口相适配的一端设有护罩，且护罩与清洗腔的上下两端之间留有间隙；护罩与闸阀本体之间设有出口通道；出口通道一端与方向阀相通，另一端与所述清洗腔入口相通，本实用新型的具有自动清洗功能的闸阀，整体结构简单，可以提前切断由于液体飞散而损坏设备和人体的危险性的传统问题，从而防止硅片缺陷，对提高生产率有积极作用，并且提升了企业的生产竞争力，具有较高的实用性。
基本信息
专利标题 ：
一种具有自动清洗功能的闸阀
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020702656.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-04-30
授权号 ：
CN212455662U
授权日 ：
2021-02-02
发明人 ：
朴灵绪
申请人 ：
苏州恩腾半导体科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城西北区02栋703室
代理机构 ：
苏州铭浩知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
朱斌兵
优先权 ：
CN202020702656.9
主分类号 ：
F16K27/00
IPC分类号 ：
F16K27/00 F16K51/00 B08B3/02 B08B3/08 B08B9/093
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F16
工程元件或部件；为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施；一般绝热
F16K
阀；龙头；旋塞；致动浮子；通风或充气装置
F16K
阀；龙头；旋塞；致动浮子；通风或充气装置
F16K27/00
阀壳结构
法律状态
2021-02-02 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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