尾气洗涤塔及半导体刻蚀设备

授权

摘要

本实用新型提供一种尾气洗涤塔及半导体刻蚀设备。洗涤塔包括塔体、进气管路、离心泵及补水管路；塔体的底部设置有反应槽；进气管路包括进气端及出气端，进气端与设备的尾气排放管路相连接，出气端与反应槽相连接；离心泵与反应槽及进气管路相连通；补水管路一端与供水源相连接，另一端与进气管路的进气端相连接，用于向进气管路内补水，以使尾气和水混合。本实用新型的尾气洗涤塔通过优化的结构设计，可以提高特定制程时洗涤塔的处理效率，有助于保护环境、避免真空回灌风险、延长排放管路和洗涤塔的使用寿命。采用本实用新型的尾气洗涤塔及半导体刻蚀设备，有助于降低生产成本和提高设备产出率。

基本信息

专利标题：

尾气洗涤塔及半导体刻蚀设备

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202020704051.3

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-04-30

授权号：

CN212068182U

授权日：

2020-12-04

发明人：

曹兴龙

申请人：

上海新微技术研发中心有限公司

申请人地址：

上海市嘉定区城北路235号1号楼

代理机构：

上海光华专利事务所(普通合伙)

代理人：

余明伟

优先权：

CN202020704051.3

主分类号：

B01D47/12

IPC分类号：

B01D47/12 B01D53/18 B01D53/78 B01D53/79 H01L21/67