一种高散热的静电发生装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种高散热的静电发生装置，包括主架，所述主架的上端设有上架，所述上架的底部连有金属丝，所述金属丝与主柜体相连，所述主柜体的底部连有辅柜体，主柜体从上至下依次设有第一风扇、Z形支架和液冷管；Z形支架上装有电器柜和第二风扇，电器柜的输出端通过导线与金属丝相连；所述液冷管的外壁与导热片相连。针对静电吸附装置中既无法使用外循环式空气散热的方式，也无法直接使用液冷散热的情况，本装置中将内循环空气散热与间接液冷散热相结合的方式，为电器柜提供有效散热，以保证电器柜的持续稳定使用。
基本信息
专利标题 ：
一种高散热的静电发生装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020709035.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-05-01
授权号 ：
CN212211749U
授权日 ：
2020-12-22
发明人 ：
丁基勇查海宁伏腾杨文硕钱佳豪
申请人 ：
南京伟创晶光电设备有限公司
申请人地址 ：
江苏省南京市雨花台区雨花东路9号223室
代理机构 ：
镇江基德专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
崔娟
优先权 ：
CN202020709035.3
主分类号 ：
H05K7/20
IPC分类号 ：
H05K7/20
法律状态
2020-12-22 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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