液体进料装置

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

摘要

一种液体进料装置，用于通过工艺气体来隔绝目标液体与空气接触，包括一或多个储液罐和至少一储气装置。每个该储液罐具有一储液腔和与该储液腔连通的一进料口，其中该储液腔用于储存该目标液体。该储气装置具有一体积可变的储气腔，用于储存该工艺气体，其中该储气装置的该储气腔连通于该储液罐的该储液腔，用于使该工艺气体在该可变储气装置和该储液罐之间流通，并提供需要的气压以使该储液罐内储存的该目标液体从相应的该进料口流出。

基本信息

专利标题：

液体进料装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202020717944.1

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-04-30

授权号：

CN212617648U

授权日：

2021-02-26

发明人：

宗坚陈大文

申请人：

江苏菲沃泰纳米科技有限公司

申请人地址：

江苏省无锡市新吴区梅村街道锡贤路108号

代理机构：

宁波理文知识产权代理事务所(特殊普通合伙)

代理人：

罗京

优先权：

CN202020717944.1

主分类号：

F17D1/12

IPC分类号：

F17D1/12 F17C7/00 F17C13/04 F17C13/02 C23C16/54 C23C16/455