一种节水清洗装置，用于水平式湿制程设备，包括至少一槽室，每个槽室包括操作槽及设备槽，两槽空间彼此独立但设有连通的通孔，设备槽设有过滤单元，操作槽设有清洗单元，泵浦设有进水管连接过滤单元，出水管连接清洗单元，清洗水于设备槽内由泵浦抽出后送至操作槽内清洗电路板，其中过滤单元由外围至中心依序设有壳体、过滤篮、滤袋及压舱，压舱由压板及朝下设置的沉箱所构成，压板上具有多个进水孔，进水孔分布于沉箱结合于压板位置的外围区域，组装后滤袋位于沉箱与过滤篮之间，清洗水由进水孔进入沉箱外围，通过滤袋、过滤篮由壳体底部的出水口排出，借此因沉箱占据过滤篮内空间，减少清洗水的用量，提高清洗水的置换率，以达省水节能的目的。