立式吸附器及气体纯化吸附系统
授权
摘要
本实用新型公开了立式吸附器及气体纯化吸附系统。其中,立式吸附器包括壳体、气体分布器、吸附剂层和设在壳体外表面的保温层,气体分布器设在壳体内且位于壳体上表面和下表面之间,气体分布器包括邻近壳体上表面布置的第一气体分布器和邻近壳体下表面布置的第二气体分布器;第一气体分布器和第二气体分布器之间设有至少两层吸附剂层,相邻两层吸附剂层之间分别独立地设有气体再分布器,每层吸附剂层的上表面/下表面与气体分布器/气体再分布器之间形成有中空夹层。该吸附器结构简单且容易设计制造,吸附效率高且吸附效果好,多个立式吸附器耦合连用可实现多晶硅生产过程中循环氢气的连续纯化并得到能够满足多晶硅生产要求的高纯氢气。
基本信息
专利标题 :
立式吸附器及气体纯化吸附系统
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202020763905.5
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-05-09
授权号 :
CN213160088U
授权日 :
2021-05-11
发明人 :
司文学杨永亮张升学石涛汪绍芬严大洲
申请人 :
中国恩菲工程技术有限公司
申请人地址 :
北京市海淀区复兴路12号
代理机构 :
北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
宋合成
优先权 :
CN202020763905.5
主分类号 :
B01D53/04
IPC分类号 :
B01D53/04
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01D53/00
气体或蒸气的分离;从气体中回收挥发性溶剂的蒸气;废气例如发动机废气、烟气、烟雾、烟道气或气溶胶的化学或生物净化
B01D53/02
通过吸附作用,例如,制备气相色谱法
B01D53/04
用固定的吸附剂
法律状态
2021-05-11 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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