环境微粒侦测装置及微粒捕捉器

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摘要

本实用新型公开一种环境微粒侦测装置及微粒捕捉器，所述环境微粒侦测装置适用于存在多个微粒的一无尘室中，并且所述无尘室内所生产的一产品，其具有可沾附所述微粒的一沾附层。所述环境微粒捕捉装置包括多个微粒捕捉器，并且每个微粒捕捉器包含一载体及形成于所述载体顶承载面的一仿沾附层。所述仿沾附层能用来沾附粒径介于100微米～1500微米的所述微粒。多个所述微粒捕捉器用来设置于所述无尘室内，并且所述环境微粒侦测装置能通过多个所述微粒捕捉器所捕捉的所述微粒数量，用以测得所述无尘室中的多个所述微粒的分布状态。据此，微粒捕捉器结构简单且对应于所述产品，所以能够以较低成本来实现不同产品的微粒侦测。

基本信息

专利标题：

环境微粒侦测装置及微粒捕捉器

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202020764788.4

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-05-11

授权号：

CN212215002U

授权日：

2020-12-25

发明人：

林刘恭

申请人：

光群雷射科技股份有限公司

申请人地址：

中国台湾新竹市

代理机构：

北京银龙知识产权代理有限公司

代理人：

许静

优先权：

CN202020764788.4

主分类号：

B01D49/00

IPC分类号：

B01D49/00