一种液晶显示屏生产用ITO膜蚀刻装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种液晶显示屏生产用ITO膜蚀刻装置，包括基座和加工仓，加工仓安装在基座上，加工仓的内侧安装有加工台和激光发射器，加工仓的侧壁上还安装有调节组件。本液晶显示屏生产用ITO膜蚀刻装置，调节组件可以对加工台进行调节，使其移动加工台到不同的区域，以满足不同的加工效果，其中封板和负压吸尘罩的设置，可以避免加工仓内产生的烟雾溢出，安全性好，其中当需要调节加工台位置时，可以通过转动转盘来带动第二圆柱以进行初步的调节，然后转动旋钮对加工台位置进行的微调，即通过初步调节和微调这样能保证加工台的位置调节精准，同时操作过程简单方便。
基本信息
专利标题 ：
一种液晶显示屏生产用ITO膜蚀刻装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020791995.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-05-12
授权号 ：
CN211858606U
授权日 ：
2020-11-03
发明人 ：
程言军蒋燕红蒋来红
申请人 ：
安徽帝显电子有限公司
申请人地址 ：
安徽省马鞍山市郑蒲港新区姥桥镇联合路广纳标准化厂房13#厂房
代理机构 ：
北京和联顺知识产权代理有限公司
代理人 ：
李照
优先权 ：
CN202020791995.9
主分类号 ：
H01L21/67
IPC分类号 ：
H01L21/67 G02F1/1333
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
法律状态
2020-11-03 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
