本实用新型公开了一种超精机的主轴组件，具体涉及超精机领域，包括电主轴本体，所述电主轴本体的外表面卡接有偏心轮整体，所述偏心轮整体包括偏心轮外圈，所述偏心轮外圈的内表面固定安装有填充海绵，所述填充海绵的内表面固定安装有偏心轮内圈，所述偏心轮内圈的内表面卡接有若干个固定套筒。本实用新型通过设置填充海绵在偏心轮整体整体转动的同时，利用离心力将填充海绵内部的冷却液体均匀洒出至偏心轮外圈的表面以及电主轴表面，对偏心轮及电主轴进行散热，使得电主轴可以保持持续性工作；通过在偏心轮内圈的内部设置有减震防护机构，保证了机械在运行时，电主轴与偏心轮间的震动幅度能够减小，防止连接处出现卡死，延长装置的使用寿命。